中古 SMC HRZ010-L-Z サーモチラー

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製品概要

半導体製造装置やレーザー加工機の冷却に最適な高精度チラー。±0.1℃の極めて高い温度安定性を持ち、プロセスの歩留まり向上に大きく貢献します。 R4Rでは本機の中古品について在庫確認・お見積もりのご相談を承っています。

主な仕様

項目 内容
メーカー SMC
型番 HRZ010-L-Z
種別 サーモチラー
冷却能力 1.0 kW (at 20℃)
温度安定性 ±0.1 ℃
設定温度 -20 ℃ 〜 +40 ℃
冷媒 R404A

※仕様は代表値です。オプション構成により異なる場合があります。

こんな現場・用途で使われています

  • 半導体製造装置:チャンバー内の電極やターゲットの精密な温度安定化冷却
  • ファイバーレーザー:発振器およびレンズの熱変位を抑える定温冷却
  • 電子顕微鏡(SEM/TEM):光源部や真空ポンプの熱排気と高精度な温調
  • 分析機器:恒温ジャケット付きの反応容器内の溶媒温度の厳密な制御

中古理化学機器の導入メリットと注意点

恒温槽やチラーなどの理化学機器は、定期的なメンテナンスが性能維持の鍵となります。導入コストを抑える中古品の活用については、中古計測器を購入するメリット・デメリットで詳しく比較しています。また、試験結果の信頼性を担保する校正証明書に関するQ&Aも併せてご覧ください。

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R4R 製品情報ページ|管理番号:R4R-PRD-369|初回公開:2026年5月