中古 1LV-25NO アングルバルブ
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KF25フランジ対応・常時開(Normally Open)型の高信頼高真空エア作動式アングルバルブ
型番・希望台数・用途をお知らせください。R4Rが在庫を確認してご連絡します。
1LV-25NO の概要
中古の1LV-25NOは、優れたコンダクタンス特性と高い気密性を兼ね備えた高真空配管用アングルバルブ（エア作動式アングルバルブ）です。本機は半導体製造や先端真空プロセスで広く利用されるKF25（NW25）フランジ規格を採用しており、駆動部には確実なスイッチングが可能なエアシリンダ式アクチュエータを搭載しています。最大の特徴は「NO（Normally Open：常時開）」仕様である点にあり、空気圧（操作圧）が遮断された緊急時や停電時にも、バルブが開状態を維持して配管内の排気経路を確保するシステム設計に最適です。内部のシール構造にはリーク特性の極めて低いベローズ構造を内蔵し、高真空領域における雰囲気汚染を完全にシャットアウトします。R4Rでは、本機をはじめとする各種エア作動バルブ、手動アングルバルブ、真空チャンバー用コンポーネントの中古品販売・買取、動作テスト済み在庫のお見積もり相談を承っております。
主な仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 型番 | 1LV-25NO |
| 種別 | アングルバルブ (高真空アングルバルブ) |
| フランジサイズ | KF25 (NW25) |
| 作動方式 | エア作動式 (複動またはスプリングリターン) |
| バルブ状態 | NO (Normally Open：常時開型) |
| シール方式 | 高真空対応ベローズシール構造 |
※仕様は標準的な真空部品の代表特性です。現物のシール材（Oリング）の材質変更状況、シール面のコンディション、継手パーツの付属状況についてはお問い合わせください。
こんな現場・用途で使われています
- 半導体・薄膜製造装置の真空排気・隔離ライン：スパッタリング装置、真空蒸着装置、CVD装置などの粗引き・メイン排気ラインにおいて、排気系システムとプロセスチャンバーをクリーンに隔離・遮断する高真空安全弁用途
- 研究開発用真空実験設備および分析装置の圧力制御：大学・研究所の物理・化学実験室に設置された質量分析計（MS）、電子顕微鏡、加速器などの排気系において、KF25配管システムと連携してチャンバーの真空度を保持・開放するインターロックシステム
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R4R 取扱実績ページ｜管理番号：R4R-PRD-579｜初回公開：2026年6月
