中古 SMC HRZ020-L-Z サーモコン

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SMC HRZ020-L-Z の概要

中古のSMC HRZ020-L-Zは、サーモコンとして優れた性能を持つ理化学機器です。R4Rでは、本機をはじめとする環境試験機・チラー・乾燥器・洗浄器などの中古品販売および買取、在庫確認・お見積もりのご相談を承っております。

主な仕様

項目 内容
メーカー SMC
型番 HRZ020-L-Z
種別 サーモコン
冷却能力 2.0 kW (循環液: フッ素系不活性液体)
温度安定度 ±0.1 ℃
冷媒 フロン系冷媒
電源 三相 AC 200 V

※仕様は代表値です。オプション構成により異なる場合があります。

こんな現場・用途で使われています

  • 半導体エッチング・露光プロセスの温調:ウェハチャックやプラズマ電極の温度を定値制御
  • レーザー発振器の熱マネジメント:高出力加工用レーザーヘッドを±0.1℃精度で急冷・安定化
  • 超真空装置の温度制御:分析用電子顕微鏡やスパッタ装置の熱バランス維持
  • 化学プラントの反応槽温調:外部循環ジャケットを介した、化学反応時の急激な発熱の抑制

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R4R 製品情報ページ|管理番号:R4R-PRD-358|初回公開:2026年5月