中古 SMC HRZ015-L-Z サーモチラー

中古 SMC HRZ015-L-Z:環境試験・計測の効率を向上させる信頼の性能

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製品概要

HRZ015-L-Zは、半導体製造装置やレーザー加工機に最適な精密温調機です。循環液の温度を±0.1℃の極めて高い精度で制御。1.5kWの冷却能力により、装置の発熱を効率的に除去し、プロセスの安定化と歩留まり向上に貢献します。 R4Rでは、本機の中古品について在庫確認・お見積もりのご相談を承っています。

主な仕様

項目 内容
メーカー SMC
型番 HRZ015-L-Z
種別 サーモチラー
冷却能力 1.5 kW (at 20℃)
温度安定性 ±0.1 ℃
設定温度 -20 ℃ 〜 +40 ℃
循環流量 最大 40 L/min
冷媒 R404A

※仕様は代表値です。オプション構成により異なる場合があります。

こんな現場・用途で使われています

  • 半導体製造装置:ドライエッチング装置のチャンバー電極の精密温度安定化冷却
  • ファイバーレーザー:レーザー発振器および出力レンズの熱変位を抑える定温冷却
  • 電子顕微鏡(SEM):光源部や真空ポンプの熱排気と高精度な温調管理
  • 化学反応容器:精密恒温ジャケット付きの反応容器内の溶媒温度の厳密制御

理化学機器選定のポイントと校正の重要性

研究室や工場での試験結果を担保するには、用途に合わせた適切な性能選定と信頼性の確保が不可欠です。中古機器を導入する際の比較検討については、中古計測器を購入するメリット・デメリットを、試験の信頼性に関しては校正証明書とは?よくある疑問を併せてご参照ください。

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R4R 製品情報ページ|管理番号:R4R-PRD-301|初回公開:2026年5月